Устройство для напыления поликристаллического кремния

Классификация по МПК: C01B

Патентная информация
Патент на полезную модель №: 
79882
Дата публикации: 
Понедельник, Январь 20, 2020

Формула полезной модели
1. Устройство для напыления поликристаллического кремния, включающее корпус с
системой подачи и вывода реагентов, нагреватели, подложку для осаждения
поликристаллического кремния, отличающееся тем, что корпус снабжен, по меньшей мере,
одним фланцем, выполненным с возможностью охлаждения, внутри корпуса под
термостатированной подложкой размещена, по меньшей мере, одна кювета с
расплавленным алюминием, выполненная с возможностью ее подогрева и снабженная
крышкой, система подачи реагентов представляет собой коаксиальную горелку, состоящую
из трех концентрически расположенных патрубков, наружного патрубка подачи хлорида
алюминия (AlCl3 ), внутреннего патрубка подачи тетрахлорида кремния (SiCl4 ) и
промежуточного патрубка подачи инертного газа, причем наружный патрубок подачи
хлорида алюминия (AlCl3 ) соединен с кюветой с возможностью обеспечения прохода
газообразного реагента между поверхностью расплавленного алюминия и крышкой, при
этом корпус устройства, кювета, наружный и промежуточный патрубки выполнены из
материала на основе оксида алюминия, а внутренний патрубок выполнен из материала на
основе оксида кремния.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что корпус устройства изготовлен из
лейкосапфира.
3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что корпус устройства выполнен
теплоизолированным в средней части.
4. Устройство по п.1, отличающееся тем, что нагреватели кюветы установлены внутри
корпуса.
5. Устройство по п.1, отличающееся тем, что в качестве подогревающего кювету
устройства применены индукционные излучатели, установленные вне корпуса.
6. Устройство по п.1, отличающееся тем, что в качестве подогревающего кювету
устройства применены инфракрасные излучатели, установленные вне корпуса.
7. Устройство по п.1, отличающееся тем, что при размещении внутри корпуса более чем
одной кюветы их размещают одну над другой.
8. Устройство по п.1, отличающееся тем, что внутренний патрубок подачи тетрахлорида
кремния (SiCl4) выполнен из кварца.