Лазерный интерферометр

Классификация по МПК: G01B

Патентная информация
Патент на полезную модель №: 
140586
Дата публикации: 
Суббота, Май 10, 2014
Начало действия патента: 
Пятница, Декабрь 27, 2013

Формула полезной модели

Лазерный интерферометр, содержащий оптически связанные источник когерентного излучения, коллиматор, дифракционный элемент для разделения волнового фронта по амплитуде и фазе на объектный волновой фронт нулевого порядка дифракции и опорный волновой фронт первого порядка дифракции, рабочую зону с фазовым объектом, зеркало объектного волнового фронта, установленное после рабочей зоны, зеркало опорного волнового фронта и узел наблюдения интерферограммы, при этом зеркала объектного и опорного волновых фронтов установлены перпендикулярно оптической оси, отличающийся тем, что в него введен проекционный объектив, установленный между дифракционным элементом и рабочей зоной с возможностью сопряжения плоскости исследуемого фазового объекта с плоскостью узла наблюдения интерферограммы при обратном ходе сквозь дифракционный элемент объектного волнового фронта нулевого порядка дифракции и опорного волнового фронта первого порядка дифракции.