Держатель прутков-подложек установки для осаждения поликристаллического кремния

Классификация по МПК: C01B

Патентная информация
Патент на полезную модель №: 
125200
Дата публикации: 
Среда, Февраль 27, 2013
Начало действия патента: 
Четверг, Июнь 7, 2012

Формула полезной модели 1. Держатель прутков-подложек установки для осаждения поликристаллического кремния, включающий корпус, цанговый фиксатор с каналом для размещения прутка, имеющий установочную часть, при этом в корпусе выполнено приемное гнездо для приема установочной части фиксатора, отличающийся тем, что на торцевой поверхности установочной части цангового фиксатора выполнена выборка, образующая воздушный теплоизоляционный зазор между корпусом и указанной торцевой поверхностью. 2. Держатель по п.1, отличающийся тем, что установочная часть цангового фиксатора размещена в гнезде корпуса с образованием технологического зазора между корпусом и торцевой поверхностью установочной части цангового фиксатора. 3. Держатель по п.1, отличающийся тем, что включает средство закрепления корпуса держателя в установке для осаждения поликристаллического кремния. 4. Держатель по п.3, отличающийся тем, что средство закрепления корпуса держателя выполнено в виде гайки. 5. Держатель по п.1, отличающийся тем, что корпус имеет в целом цилиндрическую форму, и в нижней его части выполнено гнездо для закрепления его на токовводе установки для осаждения поликристаллического кремния. 6. Держатель по п.1, отличающийся тем, что цанговый фиксатор имеет фиксирующую часть конусообразной формы. 7. Держатель по п.1, отличающийся тем, что канал для размещения прутка имеет поперечное сечение переменного диаметра.